早在1738年，一名叫丹尼爾.伯努利的人，應用伯努利方程為基礎(chǔ)利用差壓法測量水流量。后來一名叫G.B.文丘里的人研究用文丘里管測量流量，并在1791年發(fā)表了研究結(jié)果。
    1886年，一名叫赫謝爾的人，應用文丘里管制成了測量水流量的的實用測量裝置。
    20世紀初、中期，原來的測量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測量方法上，而是開始了新的探索。
    到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法，但到次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進展，一直到1955年才有了應用聲循環(huán)法的馬克森流量計的問世，用于測量航空燃料的流量。
    20世紀60年代以后，測量儀表開始向化、小型化等方向發(fā)展。隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲（波）流量計也得到了普遍應用，微型計算機的廣泛應用，進一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計應用微型計算機后，可處理較為復雜的信號。